扩散硅压力传感器和 MEMS 压力传感器都是用于测量压力的传感器，但它们的工作原理和结构略有不同。
扩散硅压力传感器是一种采用扩散硅技术制造的压力传感器，它利用硅材料的压阻效应，将压力转换为电信号。这种传感器的结构比较简单，主要由硅芯片和引线组成，具有较高的灵敏度和精度，适合于测量微小压力。
MEMS 压力传感器是一种基于微机电系统（MEMS）技术制造的压力传感器，它采用微机械结构，将压力转换为电信号。MEMS 压力传感器的结构比较复杂，包括微机械结构、信号处理电路等，具有较高的集成度和稳定性，适合于测量高精度压力。